该例案是来自于华东位置位置哪家大一些的光电器件研制厂家,基本的生产加工一体化线路存储芯片。在的生产加工的时候中,晶圆除垢、蚀刻等道工序需安全使用巨大电子器件级磷酸(含量≥85%),从此呈现高溶液浓度含磷电镀废水。厂家已有工作公共设施不能满足了日趋要从严的废气排放标淮(TP≤0.5mg/L),亟需晋升改装。
废水处理方法化学成分及原因
电镀污水一般体现了于以下三个阶段:晶圆擦洗电镀污水(占总储水量60%)、生产设备洗电镀污水(30%)及及砖面洗电镀污水(10%)。饮用水质有特点行为 为:pH值1.5-2.5,总磷密度800-1200mg/L,氟阴离子占比50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含微量分析血本属(铜、锌等)。
补救工艺设备步骤流程
内容采取"预加工+化学工业积淀+高级工程师氧化物+深度的吸附"的组合起来制作工艺:
上下调整池
:均衡化水硬度供水量,包括pH在线平台监测系統系統
一个影响池
:加药白灰乳调低pH至8.5-9.0,养成Ca3(PO4)2奠定
五级反响池
:插入PAC和PAM強化斜板沉淀池感觉
斜板水解池
:进行固液分离法,污水步入脱水过滤体系
Fenton被氧化单元尺寸
:H2O2与Fe²⁺联合目的可降解有机质物
多媒质活性炭全自动过滤器
:石英砂砂+化学活化炭組合过虑,确保喷水澄澈
铝离子互转系统软件
:继续骤清理残余物金属材质阳离子
后面效果好
装置电脑行驶平衡后,出水出水水的质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,相关指标值远远高于《网络产业水环境挥发性有机物释放规格》(GB 39731-2020)。年影响磷释放约15吨,活性污泥造成量较传统式加工制作工艺 影响40%,电脑行驶成本费操作在8.十元/吨水。