该厂为89英寸晶圆带来线设施的超蒸馏水控制系统,每星期带来含硅污废水 150吨。污废水 中虽无血本属,但硅成分高易结渣,且电阻功率率需提高18MΩ·cm可以使用。增加了进行处理工学艺尚未实现新修订的《智能电子工业化水破坏物排出标》(GB39731-2020)格外排出标准值。
化工废水组分特殊性
具体空气污渍
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、小粒硅(比表面积0.1-1μm)
特出条件
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
土质基本特性
:低导电率(<50μS/cm)但硅单质特性繁多
治理艺步骤
不断创新主要采用"梯级膜剥离+电去亚铁离子"结构技艺:
微滤预治疗
:1μm淘瓷膜截拦大颗粒剂硅,通量维护80LMH
铁离子交互环氧树脂
:D201大孔硅胶粘合剂首选性过滤硅酸团伙
二级考试RO系统
:1、段回收处理率60%,然后段运用高脱硼膜电气元件
EDI电去铁离子
:电流量密度单位2A/m²,维持清除的残留物正离子
太阳光的紫外线除菌
:254nm红外光谱线用药量40mJ/cm²
新技术重点
设计使用阻硅剂(无机胺类混合物),推迟膜弄脏寿命3倍
EDI功能模块科技创新流道设置,硅清除率升降至99.8%
在线免费硅具体分析仪器(检测的範圍0.1-500μg/L)体现脱贫调控
使用效益
经然后方检则:
总硅从280mg/L降落到0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L
软件系统回收利用率从原40%加强至68%
膜拆换周期怎么算延长至至5年,年操作生产成本拉低35%