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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆带来线设施的超蒸馏水控制系统,每星期带来含硅污废水 150吨。污废水 中虽无血本属,但硅成分高易结渣,且电阻功率率需提高18MΩ·cm可以使用。增加了进行处理工学艺尚未实现新修订的《智能电子工业化水破坏物排出标》(GB39731-2020)格外排出标准值。 化工废水组分特殊性 具体空气污渍 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、小粒硅(比表面积0.1-1μm) 特出条件 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 土质基本特性 :低导电率(<50μS/cm)但硅单质特性繁多 治理艺步骤 不断创新主要采用"梯级膜剥离+电去亚铁离子"结构技艺: 微滤预治疗 :1μm淘瓷膜截拦大颗粒剂硅,通量维护80LMH 铁离子交互环氧树脂 :D201大孔硅胶粘合剂首选性过滤硅酸团伙 二级考试RO系统 :1、段回收处理率60%,然后段运用高脱硼膜电气元件 EDI电去铁离子 :电流量密度单位2A/m²,维持清除的残留物正离子 太阳光的紫外线除菌 :254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 新技术重点 设计使用阻硅剂(无机胺类混合物),推迟膜弄脏寿命3倍 EDI功能模块科技创新流道设置,硅清除率升降至99.8% 在线免费硅具体分析仪器(检测的範圍0.1-500μg/L)体现脱贫调控 使用效益 经然后方检则: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L 软件系统回收利用率从原40%加强至68% 膜拆换周期怎么算延长至至5年,年操作生产成本拉低35%

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