某光电器件集成ic开发厂在晶圆生产制作的过程 中,采用硅烷去硅外加生長,废气洗條塔生产高浓硫酸浓度含硅生产电镀废水。生产电镀废水具备pH振幅大(2-11)、硅占比高的显著特点,普通加工处理办法易冒出硅垢空气能管道堵塞故障 。
废水处理工艺成份及渠道
焦化废水核心成份为:
溶解完性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢氧化反应钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液残渣
科粒硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:原石杂物带
外理制作工艺标准流程
革新主要采用"多级采和+膜过滤清洁+多效蒸发晶体"生产工艺:
三级与
:用CaO转换pH至4-5,产生硅酸钙积淀,硅剔除率60%。
二级考试与
:加Na₂CO₃将pH上升至9,进那步放置已满硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜整体
:0.02μm陶瓷制品膜油烟净化器nm级硅粒状,通量稳定性高在80LMH。
MVR蒸馏器
:萃取高盐废水处理方法,凝结出Na₂SO₄副成品,水回收率超90%。
进而疗效
总硅从1500mg/L下降5mg/L这
砷成分从0.8mg/L降低0.01mg/L
整体无水垢正常运作超越2年
每一年的回收利用硝酸钠钠硫化锌约800吨