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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某光电器件集成ic开发厂在晶圆生产制作的过程 中,采用硅烷去硅外加生長,废气洗條塔生产高浓硫酸浓度含硅生产电镀废水。生产电镀废水具备pH振幅大(2-11)、硅占比高的显著特点,普通加工处理办法易冒出硅垢空气能管道堵塞故障 。 废水处理工艺成份及渠道 焦化废水核心成份为: 溶解完性硅酸盐 :SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢氧化反应钠 :洗洁塔酸碱平衡洗洁液残渣 科粒硅 :納米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :原石杂物带 外理制作工艺标准流程 革新主要采用"多级采和+膜过滤清洁+多效蒸发晶体"生产工艺: 三级与 :用CaO转换pH至4-5,产生硅酸钙积淀,硅剔除率60%。 二级考试与 :加Na₂CO₃将pH上升至9,进那步放置已满硅,串联用镁剂除砷。 反渗透膜整体 :0.02μm陶瓷制品膜油烟净化器nm级硅粒状,通量稳定性高在80LMH。 MVR蒸馏器 :萃取高盐废水处理方法,凝结出Na₂SO₄副成品,水回收率超90%。 进而疗效 总硅从1500mg/L下降5mg/L这 砷成分从0.8mg/L降低0.01mg/L 整体无水垢正常运作超越2年 每一年的回收利用硝酸钠钠硫化锌约800吨

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